近日,AIXTRON AG宣布第二季度度韓國THELEDS向其子公司Thomas Swan訂購了兩臺19x2吋CCS MOCVD。這兩臺MOCVD將被送往THELEDS位于韓國Wonsam-Myun的半導體加工廠,進行高亮藍光GaN基LED的量產工作,以應對客戶對高亮LED芯片需求的日益增長。
THELEDS表示,AIXTRON的CCS MOCVD技術穩定,是其它反應室技術不能相比的,THELEDS對CCS MOCVD的技術非常信賴。
THELEDS在購進第一臺Thomas Swan CCS反應室后,其產能獲得了快速提升。THELEDS發現將生產流程從一臺MOCVD系統轉移到另一臺非常容易,這對于快速提升產量至關重要。