昨（30）日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD設(shè)備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。

據(jù)介紹，中微Prismo系列MOCVD設(shè)備目前已進(jìn)入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍(lán)綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3™ 是中微Prismo系列MOCVD設(shè)備的最新產(chǎn)品。該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長(zhǎng)的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔最高溫度可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，單爐可生長(zhǎng)18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長(zhǎng)4英寸晶片。

此外，該設(shè)備具有新穎的腔體設(shè)計(jì)，能在高溫環(huán)境下生長(zhǎng)高質(zhì)量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED高產(chǎn)出率；同時(shí)具備較長(zhǎng)的平均免開腔維護(hù)間隔時(shí)間，進(jìn)一步延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間并提高產(chǎn)能。真空自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動(dòng)化升降機(jī)構(gòu)可方便維護(hù)操作并有效節(jié)省維護(hù)時(shí)間。

中微公司表示，Prismo HiT3™ MOCVD設(shè)備早期的客戶包括國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導(dǎo)體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設(shè)備等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

深紫外光幾十年前就被應(yīng)用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細(xì)菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長(zhǎng)的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對(duì)環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長(zhǎng)260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域最先進(jìn)的技術(shù)解決方案（例如杰生半導(dǎo)體的深紫外LED產(chǎn)品）。（來源：中微半導(dǎo)體設(shè)備）

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